Название установки ; Стоимость (₽\Час)

Технологический комплекс для маркировки и микрообработки МЛП ;1425 Установка глубокого травления кремния ЭТНА 100 ;1500 Атомно-силовой микроскоп с быстрым сканированием ТИТАНИУМ ;4100 Система (лаборатория) сканирующей электронной микроскопии высокого разрешения Мерлин ;5800 Зондовая нанолаборатория Интегра Спектра (Рамановская спектроскопия) ;5930 Микрометр толщины пластин. Модель Digimicro MF-501 ;476 Вакуумный сушильный шкаф Binder VD23 ;1431 Настольная установка плазменной очистки Zepto ;1400 Химический стол для травления оксидов с рабочим местом обработки растворами ;3300 Химический стол для травления металлов ;3207 Химический стол для анизотропного травления кремния, а также проявления резистов щелочными проявителями ;3450 Установка травления ионным пучком NIE-4000 ;19600 Установка микросварки 53ХХ BDA ;2370 Перчаточный бокс 850-NB ;620 Установка травления в индуктивно-связанной плазме (Bosch процесс) Plasmalab 100 ;21960 Установка полировки пластин РМ5 (4") ;770 Муфельная печь LE 14/11 ;560 Установка совмещения и экспонирования NXQ4006+NTP-100 ;14780 Установка ионно-лучевой литографии ionLine ;41400 Профилометр оптический ContourGT-K ;7900 Установка проявления фоторезиста SMD200 ;2780 Химический шкаф кислотный БХН-02; 700 Химический шкаф БХН-03 ;700 Установка нанесения и задубливания фоторезиста SM200+HP200 ;4500 Установка нанесения спреем, задубливания и обработки в парах ГДМС iSpray300+HP200 HDMS ;12800 Система литографии лазерным лучом PicoMaster 00 ;17590 Установка напыления металла (Ni, Cr, Au, AuPd, Pd, Ti) PVD75 ;11050 Зондовая станция PS4L ;1500 Лазерная гравировальная машина LaserPro Spirit GLS Hybrid 100-50 ;770 Установка сращивания пластин AML AWB-04 ;8320 Настольная установка плазменной очистки Diener ATTO ;1400 Центрифуга SPIN 150i-NPP, APT GmbH ;790 Установка дисковой резки пластин Accretech SS10 ;5225 Прямой оптический микроскоп Nikon Eclipse LV150NA ;300 Ультразвуковой станок сварки пластиков ДТК-4200 ;850 УФ-принтер Mimaki UJF-3042 ;1300 Система лазерной 3Д литографии 2PP M4D Laser NanoFab GmbH ;11846 Установка для лазерной абляции, резки и сверления пластин Laser NanoFab GmbH; 17760