ЦТМ
О Центре технологий и микрофабрикации
Здание центра – это высокотехнологичное сооружение, в котором обеспечивается контроль климата, содержания частиц в воздухе, давления и подведены высокоочищенные газы для работы. Лабораторные, производственные и вспомогательные инженерные помещения спроектированы и оборудованы с учетом современных мировых требований к участкам микрофабрикации и фотолитографии, где для работы необходимы чистые помещения.


На базе ЦТМ осуществляется разработка новых методов диагностики на основе микрофлюидики и нанотехнологий, фотоники и плазмоники, разработка и мелкосерийный выпуск микроэлектромеханических систем (МЭМС) для медицинских и научных целей.

Чистые помещения

В компактном, по современным меркам, Центре, в чистых зонах, которые отвечают мировым стандартам в микроэлектронной промышленности, организован полный цикл оптической фотолитографии. Минимальный размер изготавливаемых структур составляет до 0,6 микрона, с участками прямой лазерной литографии, в том числе фемтосекундной. Участок ионной литографии обеспечивает изготовление структур с минимальным размером порядка 20 нм.

Все эти технологии позволяют создавать микро- и наноструктуры различного дизайна и назначения для задач микрофлюидики и биомедицины из самых разнообразных материалов: кремния, стекла, кварца, пластика и разных металлов.

Химическая лаборатория

Любое высокотехнологическое производство в области медицины и биофизики нуждается в химическом анализе. Химическая лаборатория нашего центра достаточно оборудована для серийного нанесения покрытий и регулярного анализа образцов

Цех механической обработки

Комплекс оборудования для быстрого прототипирования методами механообработки: создание деталей, узлов, корпусов и оснастки.